| 发明名称 | 用于后研磨清洁剂的腐蚀抑制剂 | ||
| 摘要 | 本发明中作为腐蚀抑制剂的肌胺酸化合物为肌胺酸及其盐类化合物，该腐蚀抑制剂用于化学机械研磨的后研磨清洁剂中，可于后CMP(化学机械研磨)清洁时可保护加工对象表面，避免被腐蚀。本发明最能显示发明特征的化学式。 | ||
| 申请公布号 | CN101525563A | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200810008013.8 | 申请日期 | 2008.03.03 |
| 申请人 | 盟智科技股份有限公司 | 发明人 | 张松源 |
| 分类号 | C11D3/26(2006.01)I;C11D7/32(2006.01)I;C23F11/14(2006.01)I | 主分类号 | C11D3/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人 | 周春发 |
| 主权项 | 1、一种用于后研磨清洁剂的腐蚀抑制剂，该腐蚀抑制剂用于后研磨清洁剂中，其中，该腐蚀抑制剂为肌胺酸及其盐类化合物或其组合物。 | ||
| 地址 | 台湾省桃园县中坜市东园路33号 | ||