IC塑封模内压力监测控制产品质量的工艺监控设备

摘要

本实用新型涉及半导体器件领域，具体地是一种IC塑封模内压力监测控制产品质量的工艺监控设备，数据记录控制系统的输出端连接数据处理系统，数据处理系统的输出端分别连接压力控制器、监视显示屏，其特征在于：在IC塑封模具的每个型腔内设置压力传感器，压力传感器的输出端连接工艺监控装置；本实用新型有益效果：将高精度压力传感器技术与计算机技术结合在一起，将其应用到IC塑封工艺中直接监测每个塑封型腔中压力的变化，弥补了以往只能通过控制液压系统压力来间接控制型腔压力的不足，可以大大改善塑封工艺控制的精度，降低众多型腔间熔料压力的不平衡程度，减小对金丝和芯片的冲击，减少产品内应力，提高产品使用寿命和合格率。

主权项

1、一种用于IC塑封模内压力监测控制产品质量的工艺监控设备，包括IC塑封模具以及工艺监控装置，所述工艺监控装置包括压力控制器、数据记录控制系统、数据处理系统、监视显示屏，数据记录控制系统的输出端连接数据处理系统，数据处理系统的输出端分别连接压力控制器、监视显示屏，其特征在于：在IC塑封模具的每个型腔内设置压力传感器，压力传感器的输出端连接工艺监控装置。