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发明名称
摘要
申请公布号
JP4329270(B2)
申请公布日期
2009.09.09
申请号
JP20010035315
申请日期
2001.02.13
申请人
发明人
分类号
C09K11/56;C23C14/28;B82Y20/00;C09K11/62;G09F9/00;H01J11/22;H01J11/34;H01J11/42;H01J29/20;H01L21/363
主分类号
C09K11/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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