显微镜装置和显微镜图像分析方法

摘要

提供一种显微镜装置，该显微镜装置能解析超过显微镜装置的光学分辨率的显微图案，以及一种使用该显微镜装置的显微镜图像的解析检验方法。一种显微镜装置包括：具有多个像素的图像传感器；放大光学系统，在图像传感器的像素上形成观察目标的至少一部分的放大图像；和图像处理器，将具有差分功能的边缘增强滤波器应用于由图像传感器获得的绘制图像，以获得对应于绘制图像的边缘增强的绘制图像，其中该放大光学系统包括可变放大率光学系统，该可变放大率光学系统形成观察目标的表面上的观察区域中包括的线条图案的图像作为具有下述宽度的图像，该宽度超过形成该图像传感器的像素中的每一个的尺寸并且等于或小于由该边缘增强滤波器处理的区域的宽度。

主权项

1.一种显微镜装置，包括：图像传感器，所述图像传感器具有多个像素；放大光学系统，所述放大光学系统在所述图像传感器的像素上形成观察目标的至少一部分的放大图像；和图像处理器，所述图像处理器将具有差分功能的边缘增强滤波器应用于由所述图像传感器获得的绘制图像，以获得对应于所述绘制图像的边缘增强的绘制图像，其中所述放大光学系统包括可变放大率光学系统，所述可变放大率光学系统形成在观察目标的观察区域中包括的线条图案的图像作为具有下述宽度的图像，其中所述宽度超过在所述图像传感器中包括的像素中的每一个的尺寸并且等于或者小于由所述边缘增强滤波器处理的区域的宽度。