| 发明名称 | 掩模版定位存取机构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及光刻设备中的掩模版定位存取机构。公开了一种掩模版定位存取机构，包括带动掩模版版盒托板上下移动的升降机构和一用于对掩模版版盒托板位置进行定位的分度定位机构，所述掩模版版盒托板直接与所述分度定位机构连接，带动分度定位机构对其定位。由于分度定位机构不是由升降机构直接驱动，而改由版盒托板带动，因此，升降机构只负责承载版盒托板及其上版盒架的重力，而无需带动分度及定位机构，升降机构中同步齿形带不再受到两边力的作用，不易疲劳受损，提高了工作可靠性和定位的精度，同时延长了使用寿命。另外，升降机构的外力垂直作用于滚珠丝杠的中心轴线上，运动稳定可靠，能保证遮模版托板在垂直方向任意位置暂停时所需的制动力。 | ||
| 申请公布号 | CN101526744A | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200910044990.8 | 申请日期 | 2009.01.07 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 马喜宝;李志龙 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人 | 屈 蘅;李时云 |
| 主权项 | 1.一种掩模版定位存取机构，包括带动掩模版版盒托板上下移动的升降机构和一用于对掩模版版盒托板位置进行定位的分度定位机构，其特征在于：所述掩模版版盒托板直接与所述分度定位机构连接，带动分度定位机构对其定位。 | ||
| 地址 | 201203上海市张江高科技园区张东路1525号 | ||