| 发明名称 | 用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置，其制造薄膜型太阳电池时能够防止微粒带来的污染，从而防止太阳电池的性能下降并减少维修费用。本发明的用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置包括：腔室，具有可让被沉积物流入流出的入口及出口；气体供应部，向所述腔室内供给气体；加热组件，配置在所述腔室内；导轨，配置在所述腔室内部；被沉积物固定盘，沿着所述导轨滑行移动；输送部，用于输送所述被沉积物固定盘。 | ||
| 申请公布号 | CN101525741A | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200810183582.6 | 申请日期 | 2008.12.18 |
| 申请人 | 显示器生产服务株式会社 | 发明人 | 朴胜一;许闰成 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄 威;张 彬 |
| 主权项 | 1.一种用于制造薄膜型太阳电池的沉积装置，其特征在于，包括：腔室，具有供被沉积物出入的入口及出口；气体供应部，向所述腔室内供给气体；加热组件，配置在所述腔室内，并具有多个加热丝；导轨，配置在所述腔室内部；被沉积物固定盘，沿着所述导轨滑行移动；输送部，用于输送所述被沉积物固定盘。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||