发明名称
摘要
申请公布号 JP4327407(B2) 申请公布日期 2009.09.09
申请号 JP20020085757 申请日期 2002.03.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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