固态成像装置和照相机

摘要

一种固态成像装置，由已依次层叠在N型半导体层上的P型半导体层、层间绝缘膜、多层干涉滤光器和聚光透镜构成。在层间绝缘膜一侧上的P型半导体层中，对于每个像素都形成其中已离子注入N型杂质的光电二极管。多层干涉滤光器具有包括λ/4多层膜和夹在其间的多个间隔物层的组成。λ/4多层膜由具有相同光学厚度的交替层叠的二氧化钛层和二氧化硅层构成。间隔物层具有对应于它们将要透射的光的颜色的光学厚度。在绿色区域中不包括间隔物层。代替地，每个都构成λ/4多层膜的两个二氧化钛层相邻接，以制备具有λ/2光学厚度的二氧化钛层。

主权项

1. 一种固态成像装置，包括透射预定波长入射光的多层干涉滤光器，该多层干涉滤光器包括：N个λ/4多层膜，每个λ/4多层膜都由交替层叠的、具有相同光学厚度、且具有不同折射率的两种类型的介电层构成；以及M个绝缘层，与该N个λ/4多层膜交替地层叠，且M个绝缘层中的每一个都具有与构成该N个λ/4多层膜的每个介电层的光学厚度不同的光学厚度，其中N是大于或等于3的值，以及M是大于1且小于N的值。