| 摘要 |
本发明之课题系藉由谋求表面反射防止膜形成用组成物的低涂布量化并藉此来减少废液量，在防止对环境产生不良影响之同时，谋求在形成光阻图案时削减成本。本发明的解决手段系提供一种表面反射防止膜形成用组成物，其系由至少1种含氟的化合物、下述通式(1)所示之4级铵化合物(式中，R#sP!1#eP!、R#sP!2#eP!、R#sP!3#eP!及R#sP!4#eP!之中至少一者系表示烷醇基，其他系表示氢或碳数1～10的烷基，X#sP!-#eP!系表示羟基、卤化物离子、硫酸离子)及按照必要之水溶性聚合物、酸、界面活性剂、水性溶剂所构成。通式（1）：#P 097148488P01.bmp |
