发明名称 研磨布用修整轮
摘要 本发明系提供一种修整轮,不仅研磨材粒径较以往更小,并配合研磨材粒径,将其研磨材之间隔控制于规定范围内,以同时兼具高垫片研削力与垫片平坦性,此外,还能抑制研磨材之脱落。具体而言,本发明系提供一种研磨布用修整轮,其特征系于该修整轮之金属基材表面,以单层方式黏着多个研磨材,前述金属基材的研磨材黏着面之表面形状呈现突起状,使前述表面的端部与中心部之高度差为3μm以上、40μm以下,且假设前述研磨材之粒径为d,将相邻之研磨材的中心距离设为L时,在于一至少组相邻之研磨材间的前述L值系d≦L<2d。前述研磨材之粒径d最好是3μm≦d<100μm。
申请公布号 TW200936317 申请公布日期 2009.09.01
申请号 TW098105440 申请日期 2009.02.20
申请人 新日铁高新材料股份有限公司 发明人 本广明;木下俊哉
分类号 B24B53/12(2006.01);B24B53/00(2006.01);B24D3/34(2006.01);H01L21/304(2006.01) 主分类号 B24B53/12(2006.01)
代理机构 代理人 翁仁滉
主权项
地址 日本