| 发明名称 |
芳族（甲基）丙烯酸酯化合物，光敏聚合物，以及抗蚀组成物 |
| 摘要 |
本发明系关于一种芳族(甲基)丙烯酸酯化合物和一种光敏聚合物，以及一抗蚀组成物。该芳族(甲基)丙烯酸酯化合物系一具有一α-羟基且用以下的式1表示之芳族(甲基)丙烯酸酯。#P 097149238P01.bmp[化学式1]于以上的式1中，各取代基系如说明书中所定义的相同。本发明之芳族(甲基)丙烯酸酯化合物光敏聚合物具有在微影制程的期间中对一底层之优异的黏着特性和优秀的乾蚀刻抗性，以及因而能用来制备一具有优秀的微影术之特性的抗蚀组成物。 |
| 申请公布号 |
TW200936561 |
申请公布日期 |
2009.09.01 |
| 申请号 |
TW097149238 |
申请日期 |
2008.12.17 |
| 申请人 |
第一毛织股份有限公司 |
发明人 |
崔相俊;赵娟振;辛乘旭;金惠元 |
| 分类号 |
C07C69/54(2006.01);C08F20/26(2006.01);C08F20/30(2006.01);G03F7/004(2006.01) |
主分类号 |
C07C69/54(2006.01) |
| 代理机构 |
|
代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
南韩 |
