| 摘要 |
本发明的课题为提供一种涂布装置，藉由急速地使吸附基板的吸引力产生，缩短吸附时间，可提高涂布装置整体的作业时间。本发明的解决手段为以如下之构成：一种涂布装置，包含：使吸引力产生于形成于平台的表面之吸引孔，并使基板吸附保持于平台的表面之基板保持手段；以及一边对基板相对地移动，一边吐出涂布液之涂布单元，其中在基板保持手段的吸引孔连通并连接有与使吸引力产生的吸引力产生装置连接的主配管及副配管，在主配管配设有开关主配管路径的主阀，在副配管配设有开关副配管路径的副阀，并且在比该副阀还靠吸引力产生装置侧配设有具备具有预定容量的储存部之储存槽，储存部具有比一定区间中的副配管的容量大的容量。 |
