晶圆清洗机台

摘要

一种晶圆清洗机台，适用于对晶圆的第一待清洗面进行清洗。晶圆清洗机台包括壳体、旋转装置、罩体、至少一个第一条状喷洒器及至少一个排气装置。旋转装置配置于壳体内，用以承载晶圆并垂直于地面进行旋转。罩体配置于壳体中并覆盖旋转装置。第一条状喷洒器配置于旋转装置的一侧，用以喷洒一挥发性清洗液至晶圆的第一待清洗面，且所喷洒的挥发性清洗液呈条状。排气装置配置于该壳体的侧壁上。