| 摘要 |
一种用于一真空室之闸阀，包括二个托载件(5a)，各藉二个平行连杆(6)连接至设有一大致平面前表面之一框架构造，以及藉复数个平行杆件(14)连接至一致动杆(12a)。藉一活塞(17)达成之致动杆(12a)朝上运动经由杆件(14)导致托载件(5a)朝上运动，其再藉连杆(6)转换成一圆形运动，如此托载件(5a)可同时接近该前表面，惟与其保持平行，且将固定至托载件(5a)之复数个密封板(9)移动至一有效位置，该等密封板可在该位置，抵紧该前表面且密封其内多个开口(3)。活塞(17)回缩将产生一反向运动，如此可使密封板(9)自开口(3)完成移开，且达成易于近接该等开口。 |
