加工对象物磨削方法

摘要

为了提供一种能确实地磨削加工对象物之加工对象物磨削方法。藉由以聚光点对准加工对象物(1)的内部的方式照射雷射光，以沿着在从加工对象物(1)的外缘起算既定的距离内侧且顺沿外缘而设定之改质区域形成线，来在加工对象物(1)形成改质区域(7)，而将加工对象物(1)的背面(21)实施磨削。结果，利用该改质区域(7)或从改质区域(7)延伸的龟裂(C1)，可抑制起因于加工对象物(1)的磨削而在外缘部(25)产生的龟裂朝内侧的伸展，而能防止加工对象物(1)的裂开。