长晶炉之加热电极与固定结构

摘要

本发明系关于长晶炉之加热电极与固定结构，其将多数根石墨电极支柱分别对应螺设于多数根金属电极柱之螺母座上，每一金属电极柱再透过固定座夹合固定于炉壁上。固定座在固定法兰与固定环间夹设有绝缘轴套、绝缘垫与密封衬垫。藉此，多数根石墨电极支柱可兼作支撑重量及导电电极用，又可共用相同加热电极与固定结构于上、下电热器以减少库存。焊固于炉壁上之固定法兰因具有较大露外面积，故其散热效果佳，若再辅以喷水更可加速降温。每一固定座内另设有弹性垫圈，以弹力调节每一石墨电极支柱之轴向受力，故可均匀支撑平均荷重。