表面检查装置及表面检查方法

摘要

表面检查装置1，具备影像处理检查部45，其根据以CCD摄影机40检测出之绕射光及第2直线偏光，检查晶圆10表面之反覆图案中有无异常；影像处理检查部45，系根据预先登录于资料库部46之焦点及剂量之偏移量与绕射光亮度的关联、以及焦点及剂量与第2直线偏光亮度的关联，求出焦点之偏移量或剂量之偏差量。