发明名称 SILICON OXIDE POLISHING METHOD UTILIZING COLLOIDAL SILICA
摘要
申请公布号 IL195699(D0) 申请公布日期 2009.09.01
申请号 IL20080195699 申请日期 2008.12.03
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 发明人
分类号 H01L 主分类号 H01L
代理机构 代理人
主权项
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