探针装置

摘要

于探针装置所设置之探针卡之电路基板底面侧，安装检查用接触构造体。检查用接触构造体具3层构造，该3层构造包含：中间体；及安装于该中间体之顶面的顶面弹性片；及安装于中间体之底面的底面弹性片。电路基板与检查用接触构造体之间，设置有间距变换基板。于间距变换基板之顶面，设置有致动器，该致动器维持底面弹性片之导电部与受检查体之接触压力为固定压力。