曝光设备及装置制造方法

摘要

一曝光设备包括计算单元，该计算单元根据从该投影光学系统之影像平面离焦之量与藉由该投影光学系统所形成之影像之位置间的关系，计算代表该投影光学系统之光学特性的资讯。