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经营范围
发明名称
曝光方法与装置以及元件制造方法
摘要
一种能使光罩的图案小型化的曝光方法。本发明的曝光方法包括:照明工程,对形成着X方向上具有周期性的图案的光罩MA的图案区域A1~图案区域A4,周期性地脉冲照射照明光,藉由已穿过该图案的照明光来对板进行曝光;以及移动工程,于该照明光的脉冲照射的各周期,根据X方向上的该图案的图案周期,使板向着与X方向相对应的移动方向移动。
申请公布号
TW200937139
申请公布日期
2009.09.01
申请号
TW098101045
申请日期
2009.01.13
申请人
尼康股份有限公司
发明人
奈良圭
分类号
G03F7/20(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
詹铭文;萧锡清
主权项
地址
日本
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