空间光调变器、照明光学系统、曝光装置、及元件制造方法

摘要

能抑制例如从规则配置之多数个微小反射镜元件之周围产生之绕射光的影响，以实现所欲之光瞳强度分布的照明光学系统。根据来自光源(1)之光照明被照射面(M)之照明光学系统(IL)，具备将入射光加以调变后使其射出的空间光调变器(3a)，及根据透射过空间光调变器之光束、在照明光瞳形成既定光强度分布的分布形成光学系统(4, 5)。空间光调变器，具备二维排列且个别控制之复数个光学元件，复数个光学元件以外之光入射区域中之至少部分区域，具有使入射光扩散的扩散面。