| 摘要 |
[课题]将蚀刻终点附近之微小的发光强度变化确实地且在更早的阶段时检测出来，而迅速且确实地判定蚀刻之终点。[解决手段]在将处理气体经由气体导入手段而导入至真空处理室(102)中，并对所导入之处理气体供给高频能量而产生电浆，再使用所产生之电浆，来对被收容在前述处理室内之被处理体施加电浆处理的电浆蚀刻装置中，判定蚀刻处理之终点的蚀刻终点判定方法，其特征为，具备有：将在前述真空处理室内所生成之电浆的发光中之预先所设定的波长之光抽出，并将所抽出之前述特定波长之光的发光强度作为时间系列资料来取得，再以所取得之前述时间系列资料为依据来演算出回归直线的步骤；和演算出藉由该步骤所求取出之回归直线与前述时间系列资料间之时间轴方向之距离的步骤，并以藉由该步骤所求取出之时间轴方向之距离为依据，而判定蚀刻处理之终点判定器。 |
