固定单元、具有其之抛光装置及应用该抛光装置的层结构抛光方法与支撑板的制造方法

摘要

一种抛光装置之固定单元、应用该抛光装置的抛光方法及包含一抛光物体的基板。一支撑元件与基板之一背面进行面接触，并且将基板与一底部隔开。一固定元件固定抛光物体至基板，使得抛光物体与基板之正面进行面接触。以母板与基板之正面进行面接触的方式，固定包含一层结构之母板至基板，以避免外部力的作用下的母板产生翘曲。层结构可被抛光至一均匀厚度，且包含抛光层的母板可与基板分离。