具光子晶体结构之表面声波元件及其制造方法

摘要

一种具光子晶体结构之表面声波元件，其包含有一基板、一光子晶体结构、一压电薄膜以及一叉指换能器，该基板系具有一表面，该光子晶体结构系形成于该基板之该表面，该光子晶体结构系具有复数个呈周期性间隔排列之第一介质条及复数个呈周期性间隔排列之第二介质条，各该第一介质条之间系具有一空间，各该第二介质条系形成于各该空间，该压电薄膜系形成于该光子晶体结构上，且覆盖该些第一介质条及该些第二介质条，该叉指换能器系形成于该压电薄膜上。