磁记录媒体之基底膜制造用Ｃｒ－Ｍｎ－Ｂ系溅镀靶材及使用其制造的薄膜

摘要

提供一种于制作磁记录媒体时作为基底膜，可得到极为良好的记录特性之Cr-Mn-B系基底膜用合金及微细粒薄膜制造用溅镀靶材。此溅镀靶材，以at％（原子百分率）表示下，由Mn：5~35％、B：0.1~10％以及剩余部份为Cr及不可避免之杂质所构成。又，此溅镀靶材，可藉由将以at.％（原子百分率）表示下，由Mn：5~35％、B：0.1~10％以及剩余部份为Cr及不可避免之杂质所成之原料粉末以热固化成型而制造。