气压作动阀之诊断方法以及气压作动阀之诊断装置

摘要

〔课题〕确认被配设于制造装置之气压作动阀的动作状态。〔解决手段〕一种气压作动阀之诊断方法，用于确认被配设于制造装置之气压作动阀10的动作状态，其特征在于具有：第1工序，当使气压作动阀（10）设置于制造装置，使操作流体供给到气压作动阀（7）之操作口时，或排出操作流体时，将自气压作动阀（10）排气口（8）吸排出之流体压力加以测定，将其压力变化加以记忆；第2工序，当在重复动作气压作动阀（10）后，使操作流体供给到气压作动阀（10）之操作口（7）时，将自气压作动阀（10）排气口（8）吸排出之流体压力加以测定，将其压力变化加以记忆；以及第3工序，将以前述第1工序测定之压力变化与以前述第2工序测定之压力变化加以比较，而将气压作动阀（10）动作状态之变化加以确认。