发明名称 碳奈米管生长之改良
摘要 本发明揭示用于碳奈米管之生长的改良技术。此等方法包括藉由控制于其上生长碳奈米管之催化粒子之尺寸而控制半导体单壁碳奈米管之尺寸。此外,本发明揭示在低温下生长作为互连使用之多壁碳奈米管之方法。
申请公布号 TW200936498 申请公布日期 2009.09.01
申请号 TW097143257 申请日期 2008.11.07
申请人 林德北美公司 发明人 榭 马
分类号 C01B31/02(2006.01);H01L29/786(2006.01) 主分类号 C01B31/02(2006.01)
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 美国