发明名称 半导体晶片的制造方法及半导体晶片
摘要 一种制造多个半导体晶片(1)之方法。在一基板(8)上制备多个半导体本体(2),其中该多个半导体本体(2)藉由中间区(25)而互相隔开。制备一已结构化的载体(33),其具有多个凸起(35)。将该已结构化的载体(33)相对于该基板(8)来进行定位,使该已结构化的载体(33)之各凸起向各半导体本体(2)之间的中间区(25)的内部延伸。制造一机械性稳定的复合物(38),其包括该基板(8)和该已结构化的载体(33)。将该复合物(38)划分成多个半导体晶片(1)。此外,本发明提供一种半导体晶片。
申请公布号 TW200937783 申请公布日期 2009.09.01
申请号 TW097148007 申请日期 2008.12.10
申请人 欧斯朗奥托半导体股份有限公司 发明人 伊雷克 史蒂芬
分类号 H01S5/024(2006.01);H01L21/48(2006.01) 主分类号 H01S5/024(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;丁国隆
主权项
地址 德国