| 摘要 |
本发明提供一种线锯，至少具备：卷绕于复数个附凹沟滚筒，在轴方向作往复行进的钢线；供给浆液的喷嘴；以及隔着抵板与保持该抵板的工作件板，将工作件一边保持一边向钢线进给的工作物进给装置；一边从喷嘴供给浆液，将藉由工作件进给装置而被保持的工作件压抵向钢线，切入地进给，而切断成晶圆状；上述工作件进给装置具有工作件保持部，该工作件保持部的下端面的最大宽度，系大于要被切断的工作件的宽度。藉此，防止因在工作件侧面的钢线的切入部飞散，而从工作件保持部的侧面落下来的浆液，造成被切断成为晶圆状的工作件的部分发生伸缩运动，可改善被切片的晶圆的翘曲情况。 |
