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发明名称
处理装置
摘要
本发明揭示一种处理装置,其包括一处理部分、一致动器、一外壳、一预负载机构、一力感测器以及一侦测单元。该处理部分包括一切割边缘。该致动器经组态用以使该处理部分精微地振动。其外壳经组态用以容纳该致动器。该预负载机构系布置在该外壳内侧并经组态用以向该致动器赋予一预负载。该力感测器系布置在该切割边缘与该预负载机构之间。该侦测单元根据该力感测器之一输出而侦测该处理部分之一切割力。
申请公布号
TW200937137
申请公布日期
2009.09.01
申请号
TW097148601
申请日期
2008.12.12
申请人
东北泰克诺亚奇股份有限公司;新力股份有限公司
发明人
高伟;卢泳辰;荒井义和;小田桐广和
分类号
G03F7/20(2006.01);G05B19/19(2006.01)
主分类号
G03F7/20(2006.01)
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
日本
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