发明名称 照明光学设备,曝光设备,及装置制造方法
摘要 一种照明光学设备系组构成将来自光源的光束照射至要受照射的表面上。照明光学设备包含:具有复数个棱镜的第一组棱镜;具有复数个棱镜的第二组棱镜;以及,能够切换第一及第二组棱镜以使第一及第二组棱镜的其中之一位在光路径上的棱镜组切换开关。藉由移动包含于位在光轴方向上的光路径上的第一及第二组棱镜的其中之一中的复数个棱数的至少其中之一,以改变从第一及第二组棱镜的其中之一发射出的光束的环状比,以及,从第一组棱镜发射出的光束的环状比的上限等于或高于从第二组棱镜发射出的光束的环状比的下限且低于从第二组棱镜发射出的光束的环状比的上限。
申请公布号 TW200937133 申请公布日期 2009.09.01
申请号 TW097143669 申请日期 2008.11.12
申请人 佳能股份有限公司 发明人 植村卓典
分类号 G03F7/20(2006.01);G02B5/04(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚
主权项
地址 日本