新颖之和醯胺化合物及制备方法

摘要

本发明系关于半导体加工组成物，其包括至少一种含有至少一个醯胺　官能基之化合物，和关于在半导体加工中使用这些组合物之方法。本发明亦描述用于半导体加工组成物之醯胺　的制备，其系藉由（a）使氰乙基化触媒、亲核剂和α-不饱和　混合，以产生氰乙基化产物；和（b）使氰乙基化产物中的氰基基团转换成醯胺　官能基。