发明名称 感光性树脂组成物
摘要 一种感光性树脂组成物含有:含矽之丙烯酸系树脂(A)、矽氧烷化合物(B)(但(A)除外)及感光物质(C)。
申请公布号 TW200937122 申请公布日期 2009.09.01
申请号 TW097149106 申请日期 2008.12.17
申请人 住友化学股份有限公司 发明人 城内公之
分类号 G03F7/075(2006.01);C08F290/14(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/075(2006.01)
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本