| 发明名称 |
防止高纯度气体生产工厂之不必要停机之系统 |
| 摘要 |
一种新颖的故障保险温度监视系统，其可区别过高化学吸附剂温度与温度感测元件故障。此系统防止气体纯化器免于由于温度感测元件故障所导致的停机，藉此防止高纯度气体生产工厂的错误停机。 |
| 申请公布号 |
TW200937148 |
申请公布日期 |
2009.09.01 |
| 申请号 |
TW097143155 |
申请日期 |
2008.11.07 |
| 申请人 |
普雷瑟科技股份有限公司 |
发明人 |
小伯格曼 汤玛斯;包伊尔 瑞克;圣多 珊卓;霍克 麦可;佩斯 凯斯;舒特 汤玛斯;瓦瑞克 布莱恩 |
| 分类号 |
G05B19/048(2006.01);G05B19/418(2006.01);B01D53/00(2006.01) |
主分类号 |
G05B19/048(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
