涂布于抗反射涂层上之光阻的显像方法

摘要

本发明之方法系关于使涂布于抗反射涂层薄膜上之光阻薄膜显像，其包含a)由抗反射涂层组合物形成抗反射涂层薄膜，其中该组合物包含矽氧烷聚合物；b)用硷性处理水溶液处理该抗反射薄膜；c)用冲洗水溶液冲洗该经处理之抗反射薄膜；d)在该抗反射涂层组合物之该薄膜上形成光阻涂层；e)显像性地曝光该光阻薄膜；及f)用硷性显影水溶液使该光阻显影。