发明名称 Magnetic gear for substrate transfering apparatus
摘要
申请公布号 KR100914746(B1) 申请公布日期 2009.08.31
申请号 KR20070102185 申请日期 2007.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/677 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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