发明名称 TRANSISTOR AND METHOD FOR OPERATING A TRANSISTOR
摘要 <p>Es wird ein Tunnelfeldeffekttransistor (TFET) (1) mit einem Halbleiterkörper (2) und einer auf dem Halbleiterkörper angeordneten Steuerelektrode (8), wobei gemäß einer Ausführungsform zwischen dem Halbleiterkörper und der Steuerelektrode ein Dielektrikum (9) angeordnet ist, das Dielektrikum eine Dicke von 5 nm oder mehr aufweist und das Dielektrikum eine relative Permittivität von 30 oder mehr aufweist. Gemäß einer anderen Ausführungsform weist das Dielektrikum eine Dicke von 5 nm oder mehr auf und das Verhältnis der relativen Permittivität des Dielektrikums zu der relativen Permittivität eines Bereichs des Halbleiterkörpers, der dem Dielektrikum zugewandt ist und von der Steuerelektrode überdeckt ist, beträgt drei oder mehr. Ferner wird ein Verfahren zum Betreiben des TFET angegeben.</p>
申请公布号 WO2009103284(A1) 申请公布日期 2009.08.27
申请号 WO2009DE00250 申请日期 2009.02.19
申请人 KETEK GMBH;EISELE, IGNAZ;SCHLOSSER, MARTIN 发明人 EISELE, IGNAZ;SCHLOSSER, MARTIN
分类号 H01L29/739;H01L29/51 主分类号 H01L29/739
代理机构 代理人
主权项
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