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Es wird ein XY-Tisch mit einer Messanordnung zur Positionsbestimmung beschrieben, mit einem ortsfesten Referenzteil (B) und einem Zwischenteil (F), das relativ zum Referenzteil (B) in einer ersten Richtung (Y) verschiebbar gehalten ist, mit einem Objekt (O), das relativ zum Zwischenteil (F) in einer zweiten Richtung (X) verschiebbar gehalten ist, wobei ein zu bearbeitendes Teil (W) auf dem Objekt (O) oder auf dem Referenzteil (B) angeordnet ist, sowie für die erste Richtung (X) mit wenigstens einem 1Dplus-Encoder (M1, M2) zum Messen von in-plane Freiheitsgraden (X, Y, Rz) zwischen Referenzteil (B) und Zwischenteil (F) und für die zweite Richtung (X) mit wenigstens einem 1Dplus-Encoder (M3, M4) zum Messen der in-plane Freiheitsgrade (X, Y, Rz) zwischen dem Objekt (O) und dem Zwischenteil (F), so dass die Lage (Xo, Yo) eines Tool Center Points (TCP) am Objekt (O) oder Teil (W) erfassbar ist. Dabei sind die 1Dplus-Encoder (M1, M2, M3, M4) konstruktiv so angeordnet, dass deren Projektion in die durch die erste und zweite Richtung (X, Y) aufgespannte Ebene, die den Tool Center Point (TCP) enthält, im gesamten Verfahrbereich des XY-Tisches außerhalb des Teils (W) liegt. Dies erlaubt die Einhaltung der Abbe-Bedingung und damit die genaue Erfassung des Tool Center Points (TCP) am Objekt (O) mit einfachen 1Dplus-Encodern.
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