| 摘要 |
Устройство для выполнения наноопераций, содержащее неподвижную платформу, закрепленный на ней пьезосканер, на котором установлен источник излучения, подложкодержатель с установленной на нем подложкой, отличающееся тем, что на торце пьезосканера установлен источник рентгеновского излучения с фокусирующими линзами, выполненными в виде фокусирующих элементов - фуллеренов, расположенных в каналах свинцовой матрицы, при этом диаметр d каждого канала выполнен размером 20-50 нм, длина L каждого канала составляет 20-50 мкм, расстояние между каналами по осям составляет не менее двух диаметров канала, количество фуллеренов в одном канале составляет не менее 103. |
