Röntgentarget

摘要

Ein Röntgentarget zur Erzeugung einer Röntgenstrahlung (110) in einer Auftreffregion (M) eines Elektronenstrahls (120) auf das Röntgentarget weist ein auf. Die Röntgenquellschicht (130) weist ein Mate ein Material mit niedriger Ordnungszahl auf. Die Röntgenquellschicht (130) ist auf dem Substrat (140) ausgebildet und das Substrat (140) weist eine Schichtdicke (D) in Richtung einer Flächennormalen (150) an der Auftreffregion (M) von zumindest 1 cm auf.