发明名称 |
输送容器及其盖装卸装置、输送容器的盖装卸系统 |
摘要 |
本发明提供即使以大力将输送容器的盖体推靠到盖装卸装置的门部件上,也能够防止输送容器浮起的输送容器的盖装卸装置、输送容器及输送容器的盖装卸系统。输送容器的盖装卸装置(100)具有:可供输送容器(200)载置并能够移动的工作台(15);和与设置在输送容器(200)的下表面的V字剖面槽(205a~205c)、近似垂直于移动方向(M)的固定面(205a-1~205c-1)卡合,并设置于工作台(15),与移动方向(M)近似垂直的定位销(15a~15)。 |
申请公布号 |
CN101515559A |
申请公布日期 |
2009.08.26 |
申请号 |
CN200910007656.5 |
申请日期 |
2009.02.16 |
申请人 |
株式会社来易特制作所 |
发明人 |
永田龙彦 |
分类号 |
H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/677(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 |
代理人 |
雒运朴;李 伟 |
主权项 |
1.一种输送容器的盖装卸装置,使内部被保持为高清洁度的输送容器的开口部的盖部件,与被保持为高清洁度的清洁室的开口部的门部件卡合,在密闭所述两开口部的周边部、保持高清洁度的状态下,装卸所述盖部件,其特征在于,具有:可供所述输送容器载置、能够沿规定的移动方向移动的工作台;以及与所述规定的移动方向近似垂直地设置于所述工作台的连结销,该连结销与设置于所述输送容器下表面的V字剖面槽中、且近似垂直于所述规定的移动方向的固定面卡合。 |
地址 |
日本 |