发明名称 气体调压器
摘要 本实用新型提供了一种气体调压器,它包括调压阀杆和调压阀本体,调压阀杆两端分别为操作端和控制端,调压阀杆操作端位于调压阀本体内。所述气体调压器还包旋转角度标尺和位移标尺,旋转角度标尺围绕所述调压阀杆的控制端,读取所述调压阀杆控制端旋转的角度;位移标尺用于读取调压阀杆控制端相对于调压阀本体的位移。本实用新型的气体调压器通过增设旋转角度标尺和位移标尺来测量螺旋式运动轨迹的调压阀杆控制端始末状态对应的角度和位移,有效解决了气体调压器的调压阀杆难于准确定位的问题。
申请公布号 CN201297441Y 申请公布日期 2009.08.26
申请号 CN200820154303.9 申请日期 2008.10.21
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王东海
分类号 F16K37/00(2006.01)I;F16K17/36(2006.01)I;F16K27/00(2006.01)I 主分类号 F16K37/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所 代理人 屈 蘅;李时云
主权项 1、一种气体调压器,它包括调压阀杆和调压阀本体,所述调压阀杆两端分别为操作端和控制端,所述调压阀杆操作端位于所述调压阀本体内,其特征在于,所述气体调压器还包括用于读取所述调压阀杆控制端旋转角度的旋转角度标尺,以及用于读取调压阀杆控制端相对所述调压阀本体位移的位移标尺。
地址 201203上海市张江路18号