掩膜保护膜去除装置及其方法

摘要

一种光掩膜保护膜组件去除装置，用于从光掩膜上分离保护膜组件，该装置包括：第一板，用于支撑掩膜版；第二板，用于固定掩膜版，有一个开口，与掩膜版大小、厚度相配合，用于包围掩膜版，所述第二板置于所述第一板上；第三板，用于覆盖保护掩膜版和包围保护膜组件，有一个开口，与保护膜组件大小相配合，及多个限位部件，位于所述开口边缘，所述第三板置于所述第二板上；撬棒，具有若干插入部。使用该装置去除保护膜组件可以保证安全地去除而不破坏掩膜。

主权项

1. 一种去除掩膜保护膜组件的装置，包括：第一板，用于支撑掩膜版；第二板，用于固定掩膜版，有一个开口，与掩膜版大小、厚度相配合，用于包围掩膜版，所述第二板置于所述第一板上；第三板，用于覆盖保护掩膜版和包围保护膜组件，有一个开口，与保护膜组件大小相配合，及多个限位部件，位于所述第三板的开口边缘，所述第三板置于所述第二板上；撬棒，包括撬杆、横杆，所述横杆与撬杆连接，以及两个插入部，与横杆连接，所述插入部与由撬杆、横杆构成的平面成非零角度。