静电吸引式液体喷射头的制造方法,喷嘴板的制造方法,静电吸引式液体喷射装置

摘要

首先，经由涂覆步骤、照相平版印刷步骤和蚀刻步骤，在基板(141)上形成多个电极(142，142...)。接着，在基板(141)上形成一种抗蚀剂层(143b)以覆盖所有电极(142，142...)，且通过对该抗蚀剂层(143b)进行曝光和显影，形成一种具有超微小直径且相对于该基板(141)竖立的喷嘴(103)，以使该抗蚀剂层(143b)对应于每个电极(142)，然后在每个喷嘴(103)内形成喷嘴内通道。

主权项

1. 一种静电吸引式液体喷射头的制造方法，所述液体喷射头具有多个用于自喷嘴边缘喷射作为液滴的溶液的喷嘴，所述方法包括：在基板上形成多个用于施加喷射电压的喷射电极；在所述基板上形成感光树脂层以覆盖全部的所述多个喷射电极；通过对所述感光树脂层进行曝光和显影，使所述感光树脂层相对于所述基板竖立以对应于每个所述喷射电极，以及使所述感光树脂层形成为喷嘴内径大于0.2μm而不大于4μm的喷嘴形状；形成喷嘴内通道，以建立从所述喷嘴的边缘部至所述喷嘴内的所述喷射电极之间的连通；在基板上形成多个通孔，所述通孔分别与所述多个喷嘴内通道连通；以及使所述喷嘴内通道与同所述多个喷嘴相对应的溶液供给通道连接。