微机械传感装置电特性检测分析系统及方法

摘要

一种微机械传感装置电特性检测分析系统及方法，包括用于检测相应差分电容、上端电容、下端电容、寄生电容和可变电压调整线性度以及温度信息并转换成数字信号输出的前端检测装置，用于发送测试指令给所述前端检测装置，令所述前端检测装置检测，将所述前端检测装置传递来的数字信号进行处理，并将结果存储、显示并发送出去的数据处理装置和用于发送开始指令到所述数据处理装置，令所述数据处理装置指示所述前端检测装置工作，接收所述数据处理装置传递来的检测数据，并进行处理，将最终处理结果进行显示并存储的计算机装置，从而提供一种电路结构简单，成本低，稳定性高，获取数据速度快，检测精度高的微机械传感装置电特性检测分析系统及方法。

主权项

1.一种微机械传感装置电特性检测分析系统的前端检测装置，其特征在于，包括电容数字转换模块(101)、D/A转换模块(102)、数字接口模块(103)、第一基准模块(104)、第二基准模块(105)以及测试连接模块(106)；所述电容数字转换模块(101)，用于检测待测器件和温度信息，并将其检测到的待测器件和温度信息转换成数字信号，并输出出去；所述数字接口模块(103)用于与外界连接，并传输外界发来的测试指令和传输所述电容数字转换模块(101)传出的数据；所述测试连接模块(106)将圆心角为120°的三个探针直接焊在PCB上，用于通过探针与待测芯片连接；所述D/A转换模块(102)用于将所述数字接口模块(103)传来的测试指令转换成模拟信号并传输到所述测试连接模块(106)的中间极板上；所述第一基准模块(104)用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试连接模块(106)提供基准偏压；所述第二基准模块(105)用于在差分电容测试和可变电压调整线性度测试时给所述测试连接模块(106)提供基准偏压。