离子源中的阴极和反阴极装置

摘要

本发明涉及离子源，其包括适用于离子注入机的阴极和反阴极。本发明提供了一种离子源，包括真空室；其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在电子轨迹中的反阴极；分别与阴极和反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向真空室外部的真空通路；以及位于真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过该真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以改变反阴极相对于阴极的电势。

主权项

1. 一种离子源，包括：真空室；电弧室，其可被操作以产生并容纳等离子体；阴极，其可被操作以沿着电子轨迹将电子射入所述电弧室中；设置在所述电子轨迹中的反阴极；分别与所述阴极和所述反阴极中的每一个单独相连的电连接，该电连接包括分别通向所述真空室外部的真空通路；以及位于所述真空室外部的电压电势调节器，该电压电势调节器通过所述真空通路至少与反阴极相连接，并可被操作以选择性地改变所述反阴极相对于所述阴极的电势。