发明名称 Apparatus support structure
摘要
申请公布号 GB2445573(B) 申请公布日期 2009.08.26
申请号 GB20070000464 申请日期 2007.01.10
申请人 VISTEC LITHOGRAPHY LIMITED 发明人 PAUL GEORGE HARRIS
分类号 F16M11/00 主分类号 F16M11/00
代理机构 代理人
主权项
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