微机电矢量水听器

摘要

本发明涉及一种水声传感器，具体是一种微机电矢量水听器。解决了现有矢量水听器的封装结构影响其整体性能提高的问题，包括敏感转化微结构、用于固定敏感转换微结构的支持体、罩于敏感转换微结构外并与支持体密封固定的封装壳体，敏感转化微结构含形悬臂梁结构、微型柱状体，微型柱状体垂直固定于形悬臂梁结构的，形悬臂梁结构的四梁端部上设置有转换元件，封装壳体为采用聚氨酯灌封材料制成的透声橡胶帽，透声橡胶帽顶部灌封有将微型柱状体顶端与透声橡胶帽固定的聚氨酯。通过对封装结构的改进和敏感转换结构转换元件的替换，提高了水听器的灵敏度、改善了水听器的频响，低频高信噪比，使得水听器能够表现出更加优异的性能。

主权项

1、一种微机电矢量水听器，包括敏感转化微结构、用于固定敏感转换微结构的支持体(1)、罩于敏感转换微结构外并与支持体(1)密封固定的封装壳体，敏感转化微结构包含在半导体衬底中部采用半导体体刻蚀技术刻蚀成的十字形悬臂梁结构(2)、密度与水的密度相近的微型柱状体(3)，微型柱状体(3)垂直固定于十字形悬臂梁结构(2)的中央，十字形悬臂梁结构(2)的四梁端部上设置有转换元件(4)，所述封装壳体为采用高频低衰减低渗水的聚氨酯灌封材料以声学灌封工艺制成的透声橡胶帽(5)，其特征在于：透声橡胶帽(5)顶部灌封有将微型柱状体(3)顶端与透声橡胶帽(5)固定的聚氨酯(6)。