有超低压能力的拉链式开关

摘要

一种电子机械开关包括激励电极、电枢、悬臂电极、触点和信号线。激励电极和电枢被安装到衬底。悬臂电极由电枢支撑在激励电极上。触点被安装到悬臂电极。信号线被定位以当在激励电极和悬臂电极之间施加激励电压时与触点形成闭路，以使悬臂电极以类拉链运动从悬臂电极的末梢端开始向悬臂电极弯曲。

主权项

1. 一种微电子机械装置，包括：安装到衬底上的激励电极；安装到所述衬底上的电枢；由所述电枢支撑在所述激励电极上的悬臂电极；安装到所述悬臂电极的触点，所述触点在所述电枢和所述悬臂电极的中点之间在所述悬臂电极之下凸出；以及信号线，所述信号线被定位以当在所述激励电极和所述悬臂电极之间施加激励电压时与所述触点形成闭路，从而引起所述悬臂电极以类拉链运动的方式，从所述悬臂电极的末梢端开始向所述激励电极弯曲。